|
Разрешение
|
1,0 нм@30 кВ (SE)
3,0 нм@1 кВ (SE)
2,5 нм@30 кВ (BSE)
|
|
Увеличение
|
6x~1000000x
|
|
Электронная пушка
|
Полевой катод Шоттки
|
|
Быстрый кадр
|
-
|
|
Апертуры
|
3 молибденовых апертурных диафрагмы объектива, прецизионный механизм выбора и юстировки апертур
|
|
Вакуумная система
|
1 ионный сорбц. насос
1 магниторазрядный
ионный геттерный насос
1 турбомол. насос
1 форвак. насос
Вакуум в камере<2,6E-3Па
Вакуум в пушке<2,6E-3Па
Полностью автоматическая вакуумная система
Функция внешнего интерлока
|
|
Детекторы
|
SE: Высоковакуумный дет. вторичных электронов (с защитой от удара)
|
|
|
Опция CCD: ИК ПЗС Камера
|
|
Порты расширения
|
4 порта на вакуумной камере для EDS, BSD, WDS и др.
|
|
Координатный стол
|
5-осевой моторизованный большой стол
Диапазон перемещения: X=150 мм, Y=150 мм, Z=60 мм, R=360°, T=-5°~+70°
Датчик касания с функцией остановки
|
|
Размер образца
|
диам. 340 мм, высота 50 мм
|
|
Изображение
|
Максимальный размер 16384x16384 пикселей,
Формат изображения: TIF (по умолчанию), BMP, GIF, JPG, PNG
Формат записи видео: AVI Video
|
|
Рабочая станция
|
ОС Windows 10, профессиональное ПО управления микроскопом и анализа изображений, Спецификация компьютера не хуже Intel Core i5 3,2ГГц, 4Гб ОП, 24" ЖК IPS монитор, 500Гб диск, мышь, клавиатура
|
|
Отображение
|
Отображение увеличения и масштабного отрезка в реальном времени, интерактивная линейка для измерения, гистограмма изображения
|
|
Габариты и вес
|
СЭМ: 1000x1000x1730 мм
Стол оператора:
1340x850x740 мм
Общий вес 550 кг
|
|
Опции
|
A50.7001 BSE детектор A
50.7002 EDS рентгеновский спектрометр
A50.7011 Ионная установка напыления
A50.7030 Панель управления столом
|
