- Разрешение: 1нм@З0кВ (SE) / 3нм@1кВ (SE) / 2,5нм@30кВ (BSE),
- Увеличение: 6x – 1 000 000X
- Размер образца: 320 мм, Ток пучка: 10 пА - 0. 3 мкА,
- Ускоряющее напряжение: 0-30кВ
- 6x~1000000x с детекторами: SED+CCD, 5 полностью моторизованных осей.
- Стабильный и надежный высоковольтный блок ускорителя пучка обеспечивает превосходное качество изображения при низких ускоряющих напряжениях.
- Непроводящие образцы можно исследовать без напыления на низком ускоряющем напряжении.
- Простой и удобный интерфейс управления, все управление осуществляется с помощью мыши в компьютерной системе Windows (входит в комплект)
- Большая камера для образцов, 5 полностью моторизованных осей, датчик касания с функцией остановки стола, максимальный диаметр образца 175 мм
Катод Шоттки, изучение непроводящих объектов при низких ускоряющих напряжениях, большой и полностью моторизованный столик
Технические характеристики
|
Разрешение |
1,0 нм@30 кВ (SE) 3,0 нм@1 кВ (SE) 2,5 нм@30 кВ (BSE) |
|
Увеличение |
6x~1000000x |
|
Электронная пушка |
Полевой катод Шоттки |
|
Быстрый кадр |
- |
|
Апертуры |
3 молибденовых апертурных диафрагмы объектива, прецизионный механизм выбора и юстировки апертур |
|
Вакуумная система |
1 ионный сорбц. насос 1 магниторазрядный ионный геттерный насос 1 турбомол. насос 1 форвак. насос Вакуум в камере<2,6E-3Па Вакуум в пушке<2,6E-3Па Полностью автоматическая вакуумная система Функция внешнего интерлока |
|
Детекторы |
SE: Высоковакуумный дет. вторичных электронов (с защитой от удара) |
|
|
Опция CCD: ИК ПЗС Камера |
|
Порты расширения |
4 порта на вакуумной камере для EDS, BSD, WDS и др. |
|
Координатный стол |
5-осевой моторизованный большой стол Диапазон перемещения: X=150 мм, Y=150 мм, Z=60 мм, R=360°, T=-5°~+70° Датчик касания с функцией остановки |
|
Размер образца |
диам. 340 мм, высота 50 мм |
|
Изображение |
Максимальный размер 16384x16384 пикселей, Формат изображения: TIF (по умолчанию), BMP, GIF, JPG, PNG Формат записи видео: AVI Video |
|
Рабочая станция |
ОС Windows 10, профессиональное ПО управления микроскопом и анализа изображений, Спецификация компьютера не хуже Intel Core i5 3,2ГГц, 4Гб ОП, 24" ЖК IPS монитор, 500Гб диск, мышь, клавиатура |
|
Отображение |
Отображение увеличения и масштабного отрезка в реальном времени, интерактивная линейка для измерения, гистограмма изображения |
|
Габариты и вес |
СЭМ: 1000x1000x1730 мм Стол оператора: 1340x850x740 мм Общий вес 550 кг |
|
Опции |
A50.7001 BSE детектор A 50.7002 EDS рентгеновский спектрометр A50.7011 Ионная установка напыления A50.7030 Панель управления столом |
