Технические характеристики
| Тип установки | Комбинированная (магнетронное напыление и испарение металлических/углеродных покрытий) |
| Материалы мишени | Au, Pt, Ag, Cu, Sb и т.Д |
| Ток напыления | 5-45мА с плавной регулировкой |
| Испаритель | углеродное волокно высокой чистоты (диаметр 0,8 мм) |
| Режимы работы | непрерывное и импульсное испарение |
| Материал камеры | боросиликатное стекло диаметром 200×130мм |
| Откачка вакуума | роторный насос |
| Предметный столик | диаметр 120mm |
| Режим вращения столика | ручной/автоматический |
| Питание | 220 В / 50Гц, 1000 Вт |
| Функция защиты | защита от превышения вакуумного давления, от перегрузки по току, напряжению |
| Дисплей | 7ми дюймовый цветной сенсорный |
| Блок антизагрязнения | блок защиты от загрязнения, позволяющий избежать перекрестного загрязнения при работе в двух разных режимах
|
| Доступные опции | измерение толщины пленок |
| Размер мишени | диаметр 57 мм, толщина 0,12 мм |
| Время напыления | От 1 до 999 секунд |
| Количество отсеков для испарителя | 4 |
| Рабочая среда | аргон/воздух |
| Производительность насоса | 1,1 л/c |
| Режимы скорости вращения образца | 2 режима |
| Габариты системы, ДхШхВ | 420 × 330 × 335 мм |
