- Разрешение: 5нм@З0кВ (BSE),
- Увеличение: 20x – 150 000X
- Размер образца: 80 мм,
- Ускоряющее напряжение: 1-30кВ
- Стандартный X/Y/R 3-осевой столик образца, опционально: 5-осевой рабочий столик образца X/Y/Z/R/T
- 2-ступенчатая электромагнитная конденсорная линза, 1-ступенчатый электромагнитный объектив
- Вакуумная система: 1 Турбомолекулярный насос + 1 Форвакуумный насос
- Авто старт, Авто фокус, Авто яркость/контраст
Технические характеристики
|
Разрешение |
5нм при 30кВ(BSE) |
|
Увеличение |
20x~150000x |
|
Электронная пушка |
Предварительно центрированный вольфрамовый катодный узел, автоматическое управление током пучка |
|
Напряжение |
Ускоряющее напряжение от 1KV до 30KV, 1KV/5KV/10KV/15KV/20KV/30KV-6 Steps |
|
Система линз |
Двухступенчатый электромагнитный конденсор, объективная электромагнитная линза |
|
Диафрагма |
Сменные диафрагмы 30/50/50/100мкм, для получения изображений высокого разрешения |
|
Вакуумная Система |
Форвакуумный насос, 100 литров/минуту Турбомолекулярный насос, 70 литров/сек, Время откачки <3 минут Полностью автоматизированное управление откачки вакуума |
|
Детекторы |
SE: Детектор вторичных электронов BSE: Детектор обратно отраженных электронов (Опция) |
|
Рабочий столик образца |
3-осевой столик образца с ручным приводом. Диапазон перемещений: X=40мм, Y=40мм, R=360° |
|
|
5-осевой столик образца с ручным приводом (Опция) Диапазон перемещений: X=40мм, Y=40мм, Z=40мм, R=360°, T=-0°~+90°(Механическое) |
|
Размеры столика образца |
Диаметр: 80мм, Высота: 30мм |
|
Смещение Изображения |
X, Y Смещение изображения ±150мм |
|
Система сканирования изображения |
Быстрое сканирование: 320x240 (Время сканирования: 0.1 sec.) Медленное сканирование: 640x480 (Время сканирования: 3 sec.) Фото Режим 1: 1280x960, Фото Режим 2: 2560x1920 Фото Режим 3: 5120x3840 |
|
Формат Изображения |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
|
Автоматические Функции |
Авто Старт, Авто Фокус, Авто Яркость/Контраст |
|
Отображение информации |
Увеличение, тип детектора, ускоряющее напряжение, вакуумный режим, логотип (текст), дата и время, текстовый маркер, шкала. |
|
Компьютер и Программное обеспечение |
PC рабочая станция Win 10, с профессиональным программным обеспечением для обработки изображений для всестороннего контроля управления сканирующим электронным микроскопом Требования к компьютеру: не хуже Intel I5 3.2GHz, 4G оперативная память, 24" IPS LCD Monitor, 500G Жесткий диск, мышь, клавиатура. |
|
Size & Weight |
Консоль микроскопа 460x600x950мм, Общий вес 95кг |
|
A7000, A7001 Стандартный |
комплект инструментов и запасных частей |
Стандартный комплект инструментов и запасных частей
- Вольфрамовый катодный узел 5 шт./ 1 коробка
- Стандартный образец Диаметр: 15мм 10 шт.
- Стандартный образец Диаметр: 25мм 10 шт.
- Стандартный образец Диаметр: 15мм 90° наклон 5 шт.
- Стандартный образец Диаметр: 15мм 90° наклон 5 шт.
- Стандарт высоты образца 1 шт.
- Шестигранный ключ 1 комплект
- SEM ПО программа 1 шт.
- Углеродная лента 1 шт.
- Ножницы 1 шт.
- Пипетка 1 шт.
- Пинцет 1 шт.
