Технические характеристики
| Параметр | Значение |
| Диаметр рабочей камеры | 75-150 мм |
| Тип насоса | роторный |
| Скорость осаждения: | 2-10 нм/мин |
| Мощность: | 220В / 50Гц |
| Материал процессной камеры | стекло |
| Размер процессной камеры | диаметр 100 мм, высота 130 мм. |
| Размер предметного столика | 40 мм (вмещает 6 чашек для образцов) |
| Размер мишени | диаметр 58 мм, толщина 0,12 мм (золото) |
| Измерение давления вакуума | датчик Пирани |
| Контроль вакуума | блокировка системы включением спускного клапан при 20 Па |
| Газ камеры | аргон или смесь воздуха и аргона с порционной регулировкой подачи воздуха микрорегулятором |
| Панель Управления | на английском языке |
| Комплектация |
|
