- Тип электронной пушки: Электронная пушка с полевой эмиссией типа Шоттки
- Разрешение: 1,0 нм при 15 кВ, ВЭ 1,5 нм при 1 кВ, ВЭ 0,8 нм при 30 кВ, СПЭМ
- Масштаб увеличения 1-2500000х
- Ускоряющее напряжение: 20В-30кВ
- Предметный столик: Пятиосевой моторизованный предметный столик
Технические характеристики
Ключевые параметры
Разрешение:
- 1,0 нм при 15 кВ, ВЭ
- 1,5 нм при 1,0 кВ, ВЭ
- 0,8 нм при З0 кВ, СПЭМ
Ускоряющее напряжение
- 20В-ЗOкВ
Масштаб увеличения
- 1-2500000x
Тип электронной пушки
- Электронная пушка с полевой эмиссией типа Шоттки
Камеры для образцов
Система вакуумирования
- Полностью автоматическое управление. Безмасляная система вакуумирования
Оптические камеры
- Обзорная камера,
- навигационная камера
Ход предметного столика
- Х: 120 мм
- Y: 115 мм
- Z: 50 мм
- Т: -l0o - +90о
- R: З60о
Детекторы и допоборудование
Стандартная комплектация
- Широкоугольный внутрилинзовый детектор электронов, боковой детектор электронов
Опционально
- Выдвижной детектор обратно-отраженных электронов
- автоматический выдвижной СПЭМ-детекто
- шлюз для быстрой смены образцов
- высокоскоростной бланкер для электронной литографии
- энергетический спектрометр ЭДС
- дифракция обратного рассеяния электронов ДОЭ
- ток, индуцированный электронным пучком ТИЭП
- катодолюминесценция КЛА
- столик для растяжения при высоких и низких температурах,
- наноманипулятор
- сшивка изображений на большой площади
- трекбол и панель управления с ручками
Программное обеспечение
- Язык: Английский
- Операционная система: Windows
- Навигация: Оптическая навигация. быстрая навигация жестами
- Автоматические функции: Автоматическая настройка контрастности, яркости, фокуса и астигматизма