- Разрешение: 1,5нм@15кВ (SE) / 3нм@20кВ (BSE), Увеличение: 8x - 800 000X
- Размер образца: 175 мм, Ток пучка: 10 пА - 0. 3 мкА, Ускоряющее напряжение: 0-30кВ
- Стабильный и надежный высоковольтный блок ускорителя пучка обеспечивает превосходное качество изображения при низких ускоряющих напряжениях.
- Непроводящие образцы можно исследовать без напыления на низком ускоряющем напряжении.
- Простой и удобный интерфейс управления, все управление осуществляется с помощью мыши в компьютерной системе Windows (входит в комплект)
- Большая камера для образцов, 5 полностью моторизованных осей, датчик касания с функцией остановки стола, максимальный диаметр образца 175 мм
Катод Шоттки, полностью моторизованный столик, автоматизированное программное обеспечение
Пример
Пример
Пример
Технические характеристики
Разрешение
- 1,5 нм@30 кВ (SE)
- 3 нм@30 кВ (BSE)
Увеличение
- 8x~800000x
Электронная пушка
- Полевой катод Шоттки
Напряжение
- Ускоряющее напряжение 0~30 кВ, шаг изменения 100 В@0-10 кВ, 1 кВ@10-30 кВ
Быстрый кадр
- Система линз
- Многолинзовая
Апертуры
- 3 молибденовых апертурных диафрагмы объектива, прецизионный механизм выбора и юстировки апертур
Вакуумная система
- 1 ионный геттерный насос
- 1 турбомол. насос
- 1 форвак. насос
- Вакуум в камере<6E-4Па
- Вакуум в пушке<2E-7Па
- Полностью автоматическая вакуумная система
- Функция внешнего интерлока
Детекторы
- SE: Высоковакуумный дет. вторичных электронов (с защитой от удара)
Опция CCD:
- ИК ПЗС Камера
Порты расширения
- 4 порта на вакуумной камере для EDS, BSD, WDS и др
Координатный стол
- 5-осевой мотор. средн. стол
- Диапазон перемещения: X=80 мм, Y=50 мм, Z=30 мм, R=360°, T=-5°~+70°
- Датчик касания (стоп функ.)
- Для моделей: A63.7080-M 5-осевой ручн. стол
- A63.7080-L 5-осевой мот. большой стол
Размер образца
- диам. 175 мм, высота 20 мм
Изображение
- Максимальный размер 16384x16384 пикселей,
- Формат изображения: TIF (по умолчанию), BMP, GIF, JPG, PNG
- Формат записи видео: AVI Video
Рабочая станция
- ОС Windows 10,
- профессиональное ПО управления микроскопом и анализа изображений,
- Спецификация компьютера не хуже Intel Core i5 3,2ГГц, 4Гб ОП, 24" ЖК IPS монитор, 500Гб диск,
- мышь, клавиатура
Отображение
- Отображение увеличения и масштабного отрезка в реальном времени,
- интерактивная линейка для измерения,
- гистограмма изображения
Габариты и вес
- СЭМ: 800x800x1480 мм
Стол оператора:
- 1340x850x740 мм
- Общий вес 450 кг
Опции
- A50.7001 BSE детектор
- A50.7002 EDS рентгеновский спектрометр
- A50.7011 Ионная установка напыления
- A50.7030 Панель управления столом
