- Анализ элементов-примесей (<0.1 – <0.01%)
- Спектральное разрешение от 2эВ (Si Kα)
- Разделение близко расположенных пиков
- Точная идентификация пиков
- Анализ элементов-примесей (<0.1 – <0.01%)
- Спектральное разрешение от 2эВ (Si Kα)
- Разделение близко расположенных пиков
- Точная идентификация пиков
