- Разрешение: 3нм@З0кВ (SE) / 6нм@1кВ (BSE) HV, LV,
- Увеличение: 6x - 300 000X
- Размер образца: 175 мм, Ток пучка: 10 пА - 0. 1 мкА,
- Ускоряющее напряжение: 0-30кВ
- 5-осевой столик образца (Авто X/Y, Ручной Z/R/T)
- Возможность апгрейда катода LaB6 (гексаборид лантана), рентгеновский детектор, EBSD, CL, WDS, напылительная установка.
- Модификации EBL, STM, AFTM, режим нагрева, режим заморозки, режим растяжения, SEM+лазер.
- Автоматическая калибровка, автоматическое обнаружение неисправностей, низкая стоимость обслуживания и ремонта.
- Простой и удобный интерфейс управления, все управление осуществляется с помощью мыши в компьютерной системе Windows (входит в комплект)
Возможность сканирования в режиме низкого вакуума LV для исследования биологических, медицинских и геологических объектов.
Большой столик для крепления различных образцов, возможность модификации комплектации, автоматизированное программное обеспечение
Примеры
Оценка псевдоцвета
Предварительно центрированный картридж с вольфрамовой нитью накала
Трехуровневая электромагнитная коническая линза
Запорный клапан гарантирует, что верхний вакуум не будет нарушен
Технические характеристики
Разрешение
- 3 нм@30 кВ (SE)
- 6 нм@30 кВ (BSE)
Увеличение
- 8x~300000x
Электронная пушка
Центрированный картридж с вольфрамовым катодом
Напряжение
- Ускоряющее напряжение 0~30 кВ, шаг изменения 100 В@0-10 кВ, 1 кВ@10-30 кВ
Быстрый кадр
- Нажатием одной кнопки
Система линз
- Трехлинзовая
Апертуры
- 3 молибденовых апертурных диафрагмы объектива,
- прецизионный механизм выбора и юстировки апертур
Вакуумная система
- 1 турбомол. насос
- 1 форвак. насос
- Вакуум в камере<2,6E-3Па
- Вакуум в пушке<2,6E-3Па
- Полностью автоматическая вакуумная система
- Функция внешнего интерлока
- Для модели: A63.7069-LV
- 2 форвак. насоса
- Режим низкого вакуума диапазон: 10-270 Па
- Время переключения режима вакуума < 90 c
Детекторы
- SE: Высоковакуумный дет. вторичных электронов (с защитой от удара)
- BSE: твердотельный 4х-сегментный дет. обратно-рассеянных электронов
- BSE(LV): твердотельный 4х-сегментный дет. обратно-рассеянных электронов
- CCD: ИК ПЗС Камера
Порты расширения
- 2 порта на вакуумной камере для EDS, BSD, WDS и др.
Координатный стол
- 5-осевой стол, 4 мот. + 1 ручная ось
- Диапазон перемещения:X=70 мм, Y=50 мм, Z=45 мм, R=360°, T=-5°~+90°(ручное)
- Датчик касания с функцией остановки
Размер образца
- диам. 175 мм, высота 35 мм
Изображение
- Максимальный размер4096x4096 пикселей,;
- Формат изображения: BMP (по умолчанию), GIF, JPG, PNG, TIF
Рабочая станция
- ОС Windows 10,
- профессиональное ПО управления микроскопом и анализа изображений,
- Спецификация компьютера не хуже Intel Core i5 3,2ГГц, 4Гб ОП, 24" ЖК IPS монитор, 500Гб диск,
- мышь, клавиатура;
Отображение
- Отображение увеличения и масштабного отрезка в реальном времени, интерактивная линейка для измерения, гистограмма изображения
Габариты и вес
- СЭМ: 800x800x1850 мм
- Стол оператора:
- 1340x850x740 мм
- Общий вес 400 кг
Опции
- Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр
- A50.7011 Ионная установка напыления
