- Разрешение: 3нм@З0кВ (SE) / 6нм@1кВ (BSE) HV, LV,
- Увеличение: 6x - 300 000X
- Размер образца: 175 мм, Ток пучка: 10 пА - 0. 1 мкА,
- Ускоряющее напряжение: 0-30кВ
- 5-осевой столик образца (Авто X/Y, Ручной Z/R/T)
- Возможность апгрейда катода LaB6 (гексаборид лантана), рентгеновский детектор, EBSD, CL, WDS, напылительная установка.
- Модификации EBL, STM, AFTM, режим нагрева, режим заморозки, режим растяжения, SEM+лазер.
- Автоматическая калибровка, автоматическое обнаружение неисправностей, низкая стоимость обслуживания и ремонта.
- Простой и удобный интерфейс управления, все управление осуществляется с помощью мыши в компьютерной системе Windows (входит в комплект)
Возможность сканирования в режиме низкого вакуума LV для исследования биологических, медицинских и геологических объектов.
Большой столик для крепления различных образцов, возможность модификации комплектации, автоматизированное программное обеспечение
Технические характеристики
|
Разрешение |
3 нм@30 кВ (SE) 6 нм@30 кВ (BSE) |
|
Увеличение |
8x~300000x |
|
Электронная пушка |
центрированный картридж с вольфрамовым катодом |
|
Напряжение |
Ускоряющее напряжение 0~30 кВ, шаг изменения 100 В@0-10 кВ, 1 кВ@10-30 кВ |
|
Быстрый кадр |
Нажатием одной кнопки |
|
Система линз |
Трехлинзовая |
|
Апертуры |
3 молибденовых апертурных диафрагмы объектива, прецизионный механизм выбора и юстировки апертур |
|
Вауумная система |
1 турбомол. насос 1 форвак. насос Вакуум в камере<2,6E-3Па Вакуум в пушке<2,6E-3Па Полностью автоматическая вакуумная система Функция внешнего интерлока Для модели: A63.7069-LV 2 форвак. насоса Режим низкого вакуума диапазон: 10-270 Па Время переключения режима вакуума < 90 c |
|
Детекторы |
SE: Высоковакуумный дет. вторичных электронов (с защитой от удара) BSE: твердотельный 4х-сегментный дет. обратно-рассеянных электронов BSE(LV): твердотельный 4х-сегментный дет. обратно-рассеянных электронов CCD: ИК ПЗС Камера |
|
Порты расширения |
2 порта на вакуумной камере для EDS, BSD, WDS и др. |
|
Координатный стол |
5-осевой стол, 4 мот. + 1 ручная ось Диапазон перемещения:X=70 мм, Y=50 мм, Z=45 мм, R=360°, T=-5°~+90°(ручное) Датчик касания с функцией остановки |
|
Размер образца |
диам. 175 мм, высота 35 мм |
|
Изображение |
Максимальный размер 4096x4096 пикселей, Формат изображения: BMP (по умолчанию), GIF, JPG, PNG, TIF |
|
Рабочая станция |
ОС Windows 10, профессиональное ПО управления микроскопом и анализа изображений, Спецификация компьютера не хуже Intel Core i5 3,2ГГц, 4Гб ОП, 24" ЖК IPS монитор, 500Гб диск, мышь, клавиатура |
|
Отображение |
Отображение увеличения и масштабного отрезка в реальном времени, интерактивная линейка для измерения, гистограмма изображения |
|
Габариты и вес |
СЭМ: 800x800x1850 мм Стол оператора: 1340x850x740 мм Общий вес 400 кг |
|
Опции: |
Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр A50.7011 Ионная установка напыления |
