A8000 в базовой конфигурации укомплектован двумя детекторами вторичных электронов: классическим детектором Эверхарта-Торнли (ETD SED), а также внутрилинзовым детектором вторичных электронов (InLens SED), установленным на оптической оси электронной колонны микроскопа. Дополнительно на микроскоп могут быть установлены твердотельные полупроводниковые детекторы обратно-рассеянных электронов (BSE) и детектор для режима сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (STEM). Возможность детектирования различных электронных сигналов позволяет получать как данные о морфологии поверхности образца, так и информацию о его внутренней структуре. Кроме того микроскоп опционально может быть оснащен аналитическими приставками для анализа химического элементного состава и кристаллографии, исследования оптических и электрических свойств, проведения механических и температурных испытаний.
Технологии
Совершенная система детектирования
- Одновременный сбор сигнала от двух типов детекторов вторичных электронов (SE), обратно-рассеянных электронов (BSE), и детектора сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (STEM).
- Одновременное отображение морфологии и материального контраста для наиболее полного и всестороннего исследования формы поверхности и структуры образца.
Интуитивный и дружественный интерфейс пользователя
- Ясное и не перегруженное расположение элементов управления
- Множество интерлоков для безопасного управления микроскопом
- Эргономичная работа с клавиатурой
- Простое управление, доступное как новичкам, так и экспертам в микроскопии
Мощная и универсальная аналитическая платформа
- Модульный дизайн и масштабируемая архитектура, позволяют проводить дооснащение микроскопа в течение всего срока эксплуатации
- Специальные решения от сторонних поставщиков аналитического оборудования доступны по запросу пользователя
- Множество портов и интерфейсов для подключения различных дополнительных приставок, таких как: EDS, EBSD, WDS, CL, испытательных столиков, и прочего оборудования
Технические характеристики
- Пространственное разрешение: 1,0 нм при 30кВ (SE), 1,5 нм при 1 кВ (SE)
- Диапазон увеличения: 1x ~ 2.000.000x
- Источник электронов: термополевой катод типа Шоттки
- Ускоряющее напряжение: 20 В ~ 30 кВ
- Ток электронного пучка: 1 пА ~ 20 нА
- Вакуумная система: 1 ионный геттерный насос, 1 турбомолекулярный насос, 1 форвакуумный насос
- Детекторы: SE (InLens) внутрилинзовый, SE (ETD) в вакуумной камере, BSE, CCD
- Дополнительные порты: Порты на вакуумной камере для установки дополнительных детекторов и приставок BSE, EDS, EBSD, CL...
- Координатный стол: 5-осевой полностью моторизованный, Диапазон перемещения: X=125 мм, Y=125 мм, Z=50 мм, R=360°, T=-5°~+70°
- Максимальный размер образца: Внутренний диаметр камеры 330 мм, Высота 260 мм
- Размер получаемых изображений: 256 x 256 ~ 16k х 16k пикселей
- Управление микроскопом: Компьютер под управлением ОС Windows, профессиональное ПО для анализа изображений и управления микроскопом, мышь, клавиатура, панель управления.
- Габариты и вес: Основная консоль микроскопа: 1900x1100x1800 мм, 800 кг
Дополнительные опции
- A8000 Чистка ионным пучком
Технологии электронно-оптической колонны
- Термополевой источник электронов, обеспечивающий высокую стабильность тока эмиссии пучка, высокое пространственное разрешение.
- Электронно-оптическая колонна с ускорительной трубка для обеспечения высокого разрешения при низких ускоряющих напряжениях.
- Комбинированная неиммерсионная объективная линза, состоящая из электромагнитной и электростатической линз, обеспечивает отсутствие магнитного поля снаружи объектива, что позволяет проводить съемку даже сильно намагниченных образцов.
