- Контактный режим, бесконтактный режим, сканирование
- Диапазон XY: 50x50 мкм, Z: 5 мкм
- Разрешение сканирования XY: 0,2 нм, Z: 0,05 нм
- Диаметр образца <90 мм, высота <20 мм
- Предметный столик: подвижный 25x25 мм
- Оптический объектив: 10-кратное разрешение 2,5 мкм
- Скорость сканирования: 0,6 - 30 Гц, угол сканирования 0-360 °
- Демпфирование подвески
