Система включает базовый блок с управляющей электроникой, магнетрон, вакуумную систему с форвакуумным насосом, предметный столик с возможностью вращения, большую камеру из боросиликатного стекла, сенсорный экран управления размером 7 дюймов, программное обеспечение на русском языке, книгу «рецептов» напыления и стартовый набор расходных материалов.
Система может быть дополнительно оснащена измерителем толщины покрытия на основе кварцевых весов, держателем образцов, вакуумной системой на базе турбомолекулярного насоса, различными комплектациями расходных материалов (металлические мишени, кварцевые кристаллы, уплотнители, набор для чистки камеры), а также предметным столиком с нагревом для увеличения адгезии покрытия. Некоторые опции могут быть доступны по запросу.
Технические характеристики
Испаритель
- Материалы напыления: металлы
- Тип испарителя: магнетрон постоянного тока
- Максимальный ток: разряда — 100 мА
Вакуумная камера
- Материал вакуумной камеры: боросиликатное, прозрачное бесцветное стекло
- Внутренний диаметр вакуумной камеры: 156 мм
- Высота вакуумной камеры: 150 мм
- Диаметр столика для образцов: 100 мм
- Вакуумная система: полностью автоматическая, форвакуумный / турбомолекулярный* насосы
- Производительность форвакуумного насоса: 19,8 м3/ч
- Производительность турбомолекулярного насоса: 90 л/с
Предметный столик
- Максимальная скорость вращения столика: 20 оборотов в мин.
- Держатели образцов: стандартный держатель / держатель под задачи*
Программное обеспечение
- Управление процессом напыления: Графический сенсорный экран 7”
- Измерение давления (встроенный датчик вакуума): Диапазон: 1000 мбар – 10-3 мбар (форв. насос) / 1000 мбар – 10-9 мбар (турбонасос)
- Измерение толщины покрытия: Кварцевые весы
- Сохранение и загрузка пользов. рецептов >1000 шт
- Габариты и вес (без опций): 450х300х400 мм, 22 кг
