Технические характеристики
Размер (Д×Ш×В) | 424×271×255 мм |
Питание установки | 220 В / 50 Гц |
Напряжение распыления | 600 В |
Способ распыления | Магнетронное напыления |
Максимальная мощность | 450 Вт |
Размер мишени | диаметр 57 мм, толщина 0,2 мм (платина) |
Материал мишени | Au, Pt, Ag, Cu, Al (TMP), металлическая мишень |
Вакуумный насос | насос производительностью 1 л/с (опционально доступен сухой спиральный насос) |
Вакуумная камера | диаметр 130×130 мм |
Максимальный вакуум | ≤1Па (датчик Пирани) |
Возможность размещения чашек образца | 1 чаша диаметром 90 мм, 4 чаши диаметром 25 мм, 6 чаш диаметром 15 мм |
Ввод вакуума | автоматический; высокоточный впускной клапан |
Дегазация | автоматическая |
Рабочий ток | 5-45 мА регулируемый (опционально 5-100 мА) |
Размер частиц (Золото) | 6-10 нм |
Рабочий газ | аргон (баллон не входит в комплектацию) |
Защита от перегрузок | Перегрузка по току (при превышении 50 мА), блокировка превышения вакуумного давления (при 100 Па) |
Доступные опции | Вращающаяся чаша для образцов, измерение толщины пленок, сухой спиральный насос, турбомолекулярный насос и др. |
Вес | 12 кг (без учета насоса) |