Технические характеристики
Параметр | Значение |
Диаметр рабочей камеры | 75-150 мм |
Тип насоса | роторный |
Скорость осаждения: | 2-10 нм/мин |
Мощность: | 220В / 50Гц |
Материал процессной камеры | стекло |
Размер процессной камеры | диаметр 100 мм, высота 130 мм. |
Размер предметного столика | 40 мм (вмещает 6 чашек для образцов) |
Размер мишени | диаметр 58 мм, толщина 0,12 мм (золото) |
Измерение давления вакуума | датчик Пирани |
Контроль вакуума | блокировка системы включением спускного клапан при 20 Па |
Газ камеры | аргон или смесь воздуха и аргона с порционной регулировкой подачи воздуха микрорегулятором |
Панель Управления | на английском языке |
Комплектация |
|