NANO SEM 200 — это универсальный аналитический сканирующий электронный микроскоп с вольфрамовым катодом. Ускоряющее напряжение 20 кВ обеспечивает разрешающую способность в 3,9 нм. Есть возможность увеличения напряжения до З0 кВ (опция), что позволяет вести наблюдение за микроструктурой наноразмерных объектов. Микроскоп имеет широкую область применения в сравнении с аналогами. Он обладает большим диапазоном перемещения стола, подходит для быстрого отбора проб и анализа образцов, имеет расширенный интерфейс и поддерживает установку детекторов обратно-отраженных электронов (ООЭ), системы ЭДС и других приставок.
- Разрешение 3,9 нм при 20 кВ
- Диапазон напряжения 0,5 ~ 20 кВ (возможность повышения до 30 кВ)
- Увеличение 1 ~ 300 000х
Технологии
Оптическая навигация
Простая и удобная навигация - просто нажмите на то, что хотите посмотреть.
Оптическая камера высокого разрешения может делать фотографии образцов для последующей навигации.
Формирование изображения в одно нажатие
Программное обеспечение для формирования изображения в одно нажатие - с ним легко справятся даже неопытные пользователи.
Система предотвращения столкновений
Особенно полезно для новых пользователей и помогает обеспечить полную защиту сенсорного блока от столкновений.
Анализ расстояния
Сочетание функций оптимального анализа расстояния и дистанции получения изображения позволяет легко добиться максимальной производительности
Технические характеристики
Электронно-оптическая система
- Тип электронной пушки: электронная пушка с предварительно центрированной вольфрамовой нитью
- Разрешение: 3,9 нм при 20 кВ (ВЭ), 4.5 нм при 20 кВ (ООЭ)
- Масштаб увеличения 1 - 3000 000х
- Ускоряющее напряжение 0,5 ~ 20 кВ
Система формирования изображений
- Детекторы: детектор вторичных электронов (Эверхарда-Торнли)
- Опционально: детектор обратно-отраженных электронов, ЭДС, ДОЭ и т. д.
- Формат сохранения изображения tiff, jpg, png, bmp
Система вакуумирования
- Высокий вакуум не хуже 5 х 10-4 Па
- Способ контроля Полностью автоматическое управление
- Насосы Механический насос, турбомолекулярный насос
Камера для образцов
- Оптические камеры Обзорная камера, навигационная камера
- Конфигурация предметного столика Двухосевой автоматизированный
- Ход стола X: 100 мм В: 100 мм
Программное обеспечение
- Язык Английский
- Операционная система Windows
- Навигация Оптическая навигация, быстрая навигация жестами
- Автоматические функции: автоматическая настройка яркости/контрастности, автофокусировка, автоматическая регулировка астигматизма
- Особые функции: интеллектуальная система защиты от столкновений, панорамная сшивка изображений большого поля зрения (опция)
Требования к установке
- Помещение 3000 х 4000 х 2300 мм
- Температура 20 - 25 °С
- Влажность <50 %
- Электрические параметры: источник питания переменного тока 220 В (±10 %), 50 Гц, 2 кВА
Особенности
Одновременное отображение различных данных
Программное обеспечение NANO SEM-200 поддерживает возможность смешанной визуализации во вторичных (ВЭ) и обратно-отраженных (ООЭ) электронах одним нажатием. Можно одновременно наблюдать морфологию образца получать информацию о его составе.
Разрешение
- ВЭ: 3.9 nm @20 кВ
- ООЭ: 4.5 nm @ 20 кВ
Масштабируемость
Высокочувствительный детектор обратно-отраженных электронов
Многоканальное формирование изображения
Детектор отличается оригинальной конструкцией и высокой чувствительностью, имеет функцию деления изображения на 4 сегмента без наклона образца и может получать теневые изображения и изображения в композиционном контрасте в разных направлениях.
Сравнение формирования изображения во вторичных и обратно-отраженных электронах
В режиме формирования изображения в обратно-отраженных электронах эффект заряда значительно снижается и можно получить больше информации о составе поверхности образца.
Энергодисперсионный анализ ЭДС
Результаты ЭДС-анализа металлических включений на поверхности образца:
Дифракция отраженных электронов (ДОЭ)
Электронный микроскоп с вольфрамовым катодом обладает большим током пучка, что полностью отвечает требованиям высокоразрешающего ДОЭ-анализа и применяется для исследования текстуры или преимущественных кристаллографических ориентаций моно- или поликристаллического материала. ДОЭ может использоваться для индексирования и определения семи кристаллических систем, картирования кристаллических ориентаций, исследования дефектов, определения и разделения фаз, изучения межзеренных границ и морфологии, картирования микродеформаций и т.д.
На этом рисунке изображена ДОЭ-карта образца металла N1 (никель). С ее помощью можно определить размер и ориентацию зерен, их границы, выявить двойники и охарактеризовать структуру материала.
