|
Электронная оптика
|
Программное обеспечение анализа изображений
|
|
|
Разрешение
|
3,5 нм при 30 кэВ; 5 нм в режиме обратно рассеянных электронов)
|
Усовершенствование
|
Гистограммы, преобразование цветов, частотный фильтр и т.д.
|
|
|
Увеличение
|
10~200000X
|
Программное обеспечение анализа
|
Монгофокусная съёмка/мозаичное размещение/3D изображение и т.д.
|
|
|
Ток датчика
|
От нескольких пА до 8 мкА
|
Измерение
|
ПМУ (представляющий интерес участок; отслеживание геометрического участка), множество геометрических инструментов
|
|
|
Электронная пушка
|
Электрическое питание высокой степени стабильности (до уровня десятимиллионных долей)
Ускоряющее напряжение 0.5 ~30 кэВ
С предварительно установленным по центрувольфрамовым картриджем типа перекрестия
|
Система предметных столиков
|
|
|
Предметный столик
|
Пятиосный прецизионный предметный столик
|
|
|
Движение
|
40/40/40 мм (X/Y/Z)
|
|
|
Наклон
|
~ 60°
|
|
|
Вращение
|
Бесконечное, 360°
Ø130 (макс. размер образца)
|
|
|
Объектив
|
3-ступенчатый электромагнитный объектив
(оборудован двухщелевым объективом)
Электромагнитное смещение изображения
8-полюсный стигматор
4-полюсная сканирующая катушка
|
Механизация
|
Трёхосный механизированный предметный столик (дополнительно)
|
|
|
Размеры системы
|
|
|
580 (ширина) X 900 (глубина) X1500 (высота) мм
|
|
|
|
|
|
Апертура
|
Неподвижная и подвижная апертура с тремя отверстиями
|
|
|
Детектор
|
Детектор ET (позволяет получать изображение вторичных электронов и обратно рассеянных электронов (ОРЭ) без дополнительного детектора ОРЭ
|
|
|
Камера/вакуум
|
|
|
Вакуум
|
Режим высокого вакуума (~10–5 торр)
Полная автоматизация с защитной системой
Ротационный насос + турбомолекулярный насос (80 л/с)
Контроль вакуума при помощи диффузионного вакуумметра
|
|
|
Дополнительно:
|
Энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия, обратно рассеянные электроны, приборы с зарядовой связью и т.д.
|
|
|
Привод с цифровым управлением
|
|
|
Цифровое изображение
|
Режим поиска (640X480)
Режим осмотра (800X600)
Режим осмотра (1280X960)
Режим фотографии (1280X960, 2048X1536,4096X3072)
|
|
|
Функция автоматического управления
|
Автоматическая фокусировка, автоматическая настройка контраста/яркости
Автоматический стигматор/регулировка электронной пушки,
ток эмиссии и т.д.
|
|
|
Компьютер управления
|
Window XP/ Window 7, жидкокристаллический монитор
Четырёхъядерный или более мощный центральный процессор
|
|
