Наличие: под заказ
Срок поставки: 12 недель
Характеристики AIS2000C
- Компактная конструкция для офисной среды
- Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) производства компании «Seron Technology» средней ценовой категории, отличающийся высокой конкурентоспособностью
- Мощное программное обеспечение анализа с универсальной функцией
- Детектор обратно рассеянных электронов ET (ЭЛТ) (режим рассеянных/обратно рассеянных электронов)
- Осмотр изображений в условиях без покрытия
- Интуитивная операционная система
- Высокая скорость сканирования и высокое разрешение в пикселях
Технические характеристики
Технические характеристики
|
Электронная оптика |
Программное обеспечение анализа изображений |
|||
|
Разрешение |
3,5 нм при 30 кэВ; 5 нм в режиме обратно рассеянных электронов) |
Усовершенствование |
Гистограммы, преобразование цветов, частотный фильтр и т.д. |
|
|
Увеличение |
10~200000X |
Программное обеспечение анализа |
Монгофокусная съёмка/мозаичное размещение/3D изображение и т.д. |
|
|
Ток датчика |
От нескольких пА до 8 мкА |
Измерение |
ПМУ (представляющий интерес участок; отслеживание геометрического участка), множество геометрических инструментов |
|
|
Электронная пушка |
Электрическое питание высокой степени стабильности (до уровня десятимиллионных долей) Ускоряющее напряжение 0.5 ~30 кэВ С предварительно установленным по центрувольфрамовым картриджем типа перекрестия |
Система предметных столиков |
||
|
Предметный столик |
Пятиосный прецизионный предметный столик |
|||
|
Движение |
40/40/40 мм (X/Y/Z) |
|||
|
Наклон |
~ 60° |
|||
|
Вращение |
Бесконечное, 360° Ø130 (макс. размер образца) |
|||
|
Объектив |
3-ступенчатый электромагнитный объектив (оборудован двухщелевым объективом) Электромагнитное смещение изображения 8-полюсный стигматор 4-полюсная сканирующая катушка |
Механизация |
Трёхосный механизированный предметный столик (дополнительно) |
|
|
Размеры системы |
||||
|
580 (ширина) X 900 (глубина) X1500 (высота) мм |
||||
|
|
||||
|
Апертура |
Неподвижная и подвижная апертура с тремя отверстиями |
|||
|
Детектор |
Детектор ET (позволяет получать изображение вторичных электронов и обратно рассеянных электронов (ОРЭ) без дополнительного детектора ОРЭ |
|||
|
Камера/вакуум |
||||
|
Вакуум |
Режим высокого вакуума (~10–5 торр) Полная автоматизация с защитной системой Ротационный насос + турбомолекулярный насос (80 л/с) Контроль вакуума при помощи диффузионного вакуумметра |
|||
|
Дополнительно: |
Энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия, обратно рассеянные электроны, приборы с зарядовой связью и т.д. |
|||
|
Привод с цифровым управлением |
||||
|
Цифровое изображение |
Режим поиска (640X480) Режим осмотра (800X600) Режим осмотра (1280X960) Режим фотографии (1280X960, 2048X1536,4096X3072) |
|||
|
Функция автоматического управления |
Автоматическая фокусировка, автоматическая настройка контраста/яркости Автоматический стигматор/регулировка электронной пушки, ток эмиссии и т.д. |
|||
|
Компьютер управления |
Window XP/ Window 7, жидкокристаллический монитор Четырёхъядерный или более мощный центральный процессор |
|||
|
Условия окружающей среды установки |
|
Температура 22±2°C (колебания должны быть менее 5°C), и влажность должна быть менее 70% Электрические параметры: Одна фаза, 220 ~230 В перем.тока, 5 кВт, 50/60 Гц Вибрация: 3 мкм/м макс. при < 5-10 Гц и ЭМП. Для получения подробной информации см. руководство по эксплуатации. |
