- Разрешение: 8нм@15кВ (SE),
- Увеличение: 20x – 150 000X
- Размер образца: 50 мм,
- Ускоряющее напряжение: 15кВ
- Минимальное разрешение: < 8 нм;
- Диапазон перемещения предметного столика образца: 30 мм X 30 мм;
- Максимальный размер образца: 50 X 35 мм
- Тип катода: вольфрамовый катод
- Детектор вторичных электронов SE, опционально: детекторы BSE, BSE+SE, EDS и CCD смешанный режим изображения
- Вакуумная система: Форвакуумный насос
- Все управление осуществляется с помощью мыши, нет необходимости выравнивать диафрагму, одно нажатие для получения изображения;
- Время откачки насоса < 90 с, оптическая навигация по изображению, универсальные столики для проб;
- Широкая полоса сканирования, высокочувствительный детектор, очень быстрая работа в видеорежиме;
- Может быть интегрирован с универсальным оборудованием для СЭМ in-situ;
NANO SEM 150
NANO SEM 150 — это настольный сканирующий электронный микроскоп (SEM). Ускоряющее напряжение составляет 15 кВ. Комплектуется как детектором вторичных электронов SE, так и детектором обратно отраженных электронов BSE. Опционально возможна комплектация EDS рентгеновским спектрометром (Система энергодисперсионного микроанализа для сканирующей электронной микроскопии представляет собой программно-аппаратный комплекс на основе детекторов и модульного программного обеспечения). Разрешение достигается 6 нм.
Технические характеристики
|
Настольный сканирующий электронный микроскоп NANO SEM 150 |
|
|
Электропитание |
220V，50Hz，1kW |
|
Ускоряющее напряжение |
1кВ~15кВ с плавной регулировкой, шаг 1кВ |
|
Электронная пушка |
Предварительно центрированный вольфрамовый катодный узел, автоматическое управление током пучка, встроенный конденсор, диафрагма (катодный узел LaB6 опционально) |
|
Увеличение |
150 000x |
|
Детектор |
SE: детектор вторичных электронов, BSE: детектор обратно отраженных электронов (опция), EDS (опция) |
|
Рабочий столик образца |
Моторизованный предметный столик XY (опционально: с пятью осями), ход: 30 мм x 30 мм |
|
Размер образца |
Диаметр: 50x35 (В) мм |
|
Режим высокого вакуума |
Полностью автоматическое управление, Время переключения режима вакуума менее 2 минут |
|
Режим визуализации |
Видеорежим: 512x512 пикселей, не требуется сканирование маленького окна Быстрый режим: время сканирования менее 3 секунд, 512x512 пикселей Режим медленного сканирования: время сканирования менее 40 секунд, разрешение 2048x2048 пикселей. Форматы изображений: BMP, TIFF, JPEG, PNG |
|
Функция навигации |
Оптическая ПЗС-навигация (неэлектронная навигация по изображению) |
|
Автоматическая функция |
Автоматическая настройка яркости, контраста, фокуса одним нажатием |
|
Габариты |
NANO SEM 150: 283*553*505 (мм) Форвакуумный насос: 340*160*140 (мм) |
