- Разрешение: 8нм@15кВ (SE),
- Увеличение: 20x – 150 000X
- Размер образца: 50 мм,
- Ускоряющее напряжение: 15кВ
- Минимальное разрешение: < 8 нм;
- Диапазон перемещения предметного столика образца: 30 мм X 30 мм;
- Максимальный размер образца: 50 X 35 мм
- Тип катода: вольфрамовый катод
- Детектор вторичных электронов SE, опционально: детекторы BSE, BSE+SE, EDS и CCD смешанный режим изображения
- Вакуумная система: Форвакуумный насос
- Все управление осуществляется с помощью мыши, нет необходимости выравнивать диафрагму, одно нажатие для получения изображения;
- Время откачки насоса < 90 с, оптическая навигация по изображению, универсальные столики для проб;
- Широкая полоса сканирования, высокочувствительный детектор, очень быстрая работа в видеорежиме;
- Может быть интегрирован с универсальным оборудованием для СЭМ in-situ;
NANO SEM 150
NANO SEM 150 — это настольный сканирующий электронный микроскоп (SEM). Ускоряющее напряжение составляет 15 кВ. Комплектуется как детектором вторичных электронов SE, так и детектором обратно отраженных электронов BSE. Опционально возможна комплектация EDS рентгеновским спектрометром (Система энергодисперсионного микроанализа для сканирующей электронной микроскопии представляет собой программно-аппаратный комплекс на основе детекторов и модульного программного обеспечения). Разрешение достигается 6 нм.
