NANO SEM3000 — сканирующий электронный микроскоп с вольфрамовым катодом с высоким разрешением

Электроннооптическая система

• Разрешение — 3 нм @ 30 кВ
• Увеличение — 1 x～ 1 000,000 x
• Ускоряющее напряжение — 0.6 кВ～30 кВ
• Электронная пушка — центрированный картридж с вольфрамовым катодом

Изображение

• Детектор (стандартно) — Высоковакуумный детектор вторичныйх электроно（SED）
• Детектор (опция) — BSE, EDS, EBSD, WDS
• Изображение — ≤ 6144 x 4096 пикселей
• Формат изображений — TIFF, JPG, BMP, PNG

Координатный стол

• Способ управления — автоматический клапан
• Турбомолекулярный насос — 240 л/сек
• Форвакуумный насос — 12 m3/h (50 Hz)
• Камера — оптическая навигация / Мониторинг в камере проб
• Вакуум в камере образца — более 9×10-4 Pa при высоком вакууме

5-осевой моторизованный (стандарт)

• Расстояние — X: 60 мм Y: 70 мм Z: 65 мм, R : 360
• Макс. размер образца — Φ: 370 мм，H: 68 мм

5-осевой моторизованный увеличенный столик (опция)

• Расстояние — X: 100 мм Y: 110 мм Z: 65 мм / R: -180°～ +180° / T: -10°～ +75°
• Макс. размер образца — Φ: 370 мм, H: 60 мм

Программное обеспечение

• Язык — английский
• Система управления — Windows
• Навигация — оптическая навигация, быстрая навигация жестами
• Автоматическая функция — автоматическая контрастность яркости, автофокус
• Специальная функция — динамический астигматизм

Требования к монтажу

• Габариты — L≥ 3000 мм，W ≥ 4000 мм，H ≥ 2300 мм
• Размер дверного проема — W ≥ 900 мм，H ≥ 2000 мм
• Температура — 20 ℃～25 ℃
• Влажность — ≤ 50 %
• Электропитание — AC 220 В (±10 %),50 Гц,2 кВА
• Заземление —＜4 Ω
• Переменный ток — ＜ 100 nT 10 Размер Вес Д 920 мм，Ш 830 мм，В1650 мм 500 кг

Габариты

• Размер — 920х830х1600 мм
• Вес — 500 кг