NANO SEM3000 — сканирующий электронный микроскоп с вольфрамовым катодом с высоким разрешением от компании Microtrac

NANO SEM3000 — это продвинутый сканирующий электронный микроскоп с вольфрамовым катодом, который применяется для определения толщины покрытий и наблюдения наноразмерных микроструктур. Увеличение этого продукта может достигать 1 000 000 раз, а разрешение лучше 3 нм, большая камера для образцов диаметром 370 мм.

Высокий уровень производительности и совместимости

NANO SEM3000 — это продвинутый сканирующий электронный микроскоп с вольфрамовым катодом, который применяется для определения толщины покрытий и наблюдения наноразмерных микроструктур. Увеличение этого продукта может достигать 1 000 000 раз, а разрешение лучше 3 нм, большая камера для образцов диаметром 370 мм.

Шарики сварки

Ацетилтриэтилцитрат

Оксид лития-кобальта

Волос，@ 3 kV

Поверхность из полиэстера, @1 kV

Дефекты поверхности трубки，@1 kV

Большая камера образцов

Винт

Технические характеристики

Электроннооптическая система

Разрешение — 3 нм @ 30 кВ
Увеличение — 1 x～ 1 000,000 x
Ускоряющее напряжение — 0.6 кВ～30 кВ
Электронная пушка — центрированный картридж с вольфрамовым катодом

Изображение

Детектор (стандартно) — Высоковакуумный детектор вторичныйх электроно（SED）
Детектор (опция) — BSE, EDS, EBSD, WDS
Изображение — ≤ 6144 x 4096 пикселей
Формат изображений — TIFF, JPG, BMP, PNG

Координатный стол

Способ управления — автоматический клапан
Турбомолекулярный насос — 240 л/сек
Форвакуумный насос — 12 m3/h (50 Hz)
Камера — оптическая навигация / Мониторинг в камере проб
Вакуум в камере образца — более 9×10-4 Pa при высоком вакууме

5-осевой моторизованный (стандарт)

Расстояние — X: 60 мм Y: 70 мм Z: 65 мм, R : 360
Макс. размер образца — Φ: 370 мм，H: 68 мм

5-осевой моторизованный увеличенный столик (опция)

Расстояние — X: 100 мм Y: 110 мм Z: 65 мм / R: -180°～ +180° / T: -10°～ +75°
Макс. размер образца — Φ: 370 мм, H: 60 мм

Программное обеспечение

Язык — английский
Система управления — Windows
Навигация — оптическая навигация, быстрая навигация жестами
Автоматическая функция — автоматическая контрастность яркости, автофокус
Специальная функция — динамический астигматизм

Требования к монтажу

Габариты — L≥ 3000 мм，W ≥ 4000 мм，H ≥ 2300 мм
Размер дверного проема — W ≥ 900 мм，H ≥ 2000 мм
Температура — 20 ℃～25 ℃
Влажность — ≤ 50 %
Электропитание — AC 220 В (±10 %),50 Гц,2 кВА
Заземление —＜4 Ω
Переменный ток — ＜ 100 nT 10 Размер Вес Д 920 мм，Ш 830 мм，В1650 мм 500 кг

Габариты

Размер — 920х830х1600 мм
Вес — 500 кг

Масштабируемость

Сканирующий электронный микроскоп используется не только для наблюдения топографии поверхности, но и для анализа компонентов микроплощади на поверхности образца. NANO SEM3000 имеет большую камеру для образцов с богатыми интерфейсами. В дополнение к поддержке обычных детекторов вторичных электронов (SED), детекторов обратно отраженных электронов (BSED) и рентгеновского энергодисперсионного спектрометра (EDS), он также поддерживает множество интерфейсов, таких как дифракция обратно отраженных электронов (EBSD), длина волны рентгеновского излучения дисперсионный спектрометр (WDS) и катодолюминесцентный спектрометр (CL).

BSED, SE

На изображении с обратным отражением электронов эффект заряда образца явно ослаблен, и он имеет хороший контраст состава, что подходит для наблюдения за составом.