Высокий уровень производительности и совместимости
NANO SEM3000 — это продвинутый сканирующий электронный микроскоп с вольфрамовым катодом, который применяется для определения толщины покрытий и наблюдения наноразмерных микроструктур. Увеличение этого продукта может достигать 1 000 000 раз, а разрешение лучше 3 нм, большая камера для образцов диаметром 370 мм.
Технические характеристики
Электроннооптическая система
- Разрешение — 3 нм @ 30 кВ
- Увеличение — 1 x~ 1 000,000 x
- Ускоряющее напряжение — 0.6 кВ~30 кВ
- Электронная пушка — центрированный картридж с вольфрамовым катодом
Изображение
- Детектор (стандартно) — Высоковакуумный детектор вторичныйх электроно(SED)
- Детектор (опция) — BSE, EDS, EBSD, WDS
- Изображение — ≤ 6144 x 4096 пикселей
- Формат изображений — TIFF, JPG, BMP, PNG
Координатный стол
- Способ управления — автоматический клапан
- Турбомолекулярный насос — 240 л/сек
- Форвакуумный насос — 12 m3/h (50 Hz)
- Камера — оптическая навигация / Мониторинг в камере проб
- Вакуум в камере образца — более 9×10-4 Pa при высоком вакууме
5-осевой моторизованный (стандарт)
- Расстояние — X: 60 мм Y: 70 мм Z: 65 мм, R : 360
- Макс. размер образца — Φ: 370 мм,H: 68 мм
5-осевой моторизованный увеличенный столик (опция)
- Расстояние — X: 100 мм Y: 110 мм Z: 65 мм / R: -180°~ +180° / T: -10°~ +75°
- Макс. размер образца — Φ: 370 мм, H: 60 мм
Программное обеспечение
- Язык — английский
- Система управления — Windows
- Навигация — оптическая навигация, быстрая навигация жестами
- Автоматическая функция — автоматическая контрастность яркости, автофокус
- Специальная функция — динамический астигматизм
Требования к монтажу
- Габариты — L≥ 3000 мм,W ≥ 4000 мм,H ≥ 2300 мм
- Размер дверного проема — W ≥ 900 мм,H ≥ 2000 мм
- Температура — 20 ℃~25 ℃
- Влажность — ≤ 50 %
- Электропитание — AC 220 В (±10 %),50 Гц,2 кВА
- Заземление —<4 Ω
- Переменный ток — < 100 nT 10 Размер Вес Д 920 мм,Ш 830 мм,В1650 мм 500 кг
Габариты
- Размер — 920х830х1600 мм
- Вес — 500 кг