- Разрешение: 1,5нм@15кВ (SE) / 3нм@20кВ (BSE), Увеличение: 8x - 800 000X
- Размер образца: 175 мм, Ток пучка: 10 пА - 0. 3 мкА, Ускоряющее напряжение: 0-30кВ
- Стабильный и надежный высоковольтный блок ускорителя пучка обеспечивает превосходное качество изображения при низких ускоряющих напряжениях.
- Непроводящие образцы можно исследовать без напыления на низком ускоряющем напряжении.
- Простой и удобный интерфейс управления, все управление осуществляется с помощью мыши в компьютерной системе Windows (входит в комплект)
- Большая камера для образцов, 5 полностью моторизованных осей, датчик касания с функцией остановки стола, максимальный диаметр образца 175 мм
Катод Шоттки, полностью моторизованный столик, автоматизированное программное обеспечение
Технические характеристики
|
Разрешение |
1,5 нм@30 кВ (SE) 3 нм@30 кВ (BSE) |
|
Увеличение |
8x~800000x |
|
Электронная пушка |
Полевой катод Шоттки |
|
Напряжение |
Ускоряющее напряжение 0~30 кВ, шаг изменения 100 В@0-10 кВ, 1 кВ@10-30 кВ |
|
Быстрый кадр |
- |
|
Система линз |
Многолинзовая |
|
Апертуры |
3 молибденовых апертурных диафрагмы объектива, прецизионный механизм выбора и юстировки апертур |
|
Вауумная система |
1 ионный геттерный насос 1 турбомол. насос 1 форвак. насос Вакуум в камере<6E-4Па Вакуум в пушке<2E-7Па Полностью автоматическая вакуумная система Функция внешнего интерлока |
|
Детекторы |
SE: Высоковакуумный дет. вторичных электронов (с защитой от удара) |
|
|
Опция CCD: ИК ПЗС Камера |
|
Порты расширения |
4 порта на вакуумной камере для EDS, BSD, WDS и др |
|
Координатный стол |
5-осевой мотор. средн. стол Диапазон перемещения: X=80 мм, Y=50 мм, Z=30 мм, R=360°, T=-5°~+70° Датчик касания (стоп функ.) Для моделей: A63.7080-M 5-осевой ручн. стол A63.7080-L 5-осевой мот. большой стол |
|
Размер образца |
диам. 175 мм, высота 20 мм |
|
Изображение |
Максимальный размер 16384x16384 пикселей, Формат изображения: TIF (по умолчанию), BMP, GIF, JPG, PNG Формат записи видео: AVI Video |
|
Рабочая станция |
ОС Windows 10, профессиональное ПО управления микроскопом и анализа изображений, Спецификация компьютера не хуже Intel Core i5 3,2ГГц, 4Гб ОП, 24" ЖК IPS монитор, 500Гб диск, мышь, клавиатура |
|
Отображение |
Отображение увеличения и масштабного отрезка в реальном времени, интерактивная линейка для измерения, гистограмма изображения |
|
Габариты и вес |
СЭМ: 800x800x1480 мм Стол оператора: 1340x850x740 мм Общий вес 450 кг |
|
Опции |
A50.7001 BSE детектор A50.7002 EDS рентгеновский спектрометр A50.7011 Ионная установка напыления A50.7030 Панель управления столом |
