- Разрешение: 5нм@З0кВ (BSE),
- Увеличение: 20x – 150 000X
- Размер образца: 80 мм,
- Ускоряющее напряжение: 1-30кВ
- Стандартный X/Y/R 3-осевой столик образца, опционально: 5-осевой рабочий столик образца X/Y/Z/R/T
- 2-ступенчатая электромагнитная конденсорная линза, 1-ступенчатый электромагнитный объектив
- Вакуумная система: 1 Турбомолекулярный насос + 1 Форвакуумный насос
- Авто старт, Авто фокус, Авто яркость/контраст